報告承辦單位:物理與電子科學學院

報告內(nèi)容:我國半導體制造關鍵設備-離子注入機的現(xiàn)狀

報告人姓名:王迪平

報告人所在單位:北京爍科中科信電子裝備有限公司（隸屬中國電科四十八所）

報告人職稱/職務及學術頭銜:研究員級高級工程師

報告時間:2022年10月21日（周五）15:00

報告地點:云塘校區(qū)理科樓B413

報告人簡介:王迪平，中國電子科技集團研究員級高級工程師，現(xiàn)任北京爍科中科信長沙分公司科研技術主管，控制總師。主要從事離子注入機的研制開發(fā)和量產(chǎn)研究，主導設計開發(fā)了離子注入機的關鍵部件：劑量控制器、劑量積分儀、全電掃描劑量控制器、大束流檢測板、PCI總線下的光纖通訊環(huán)路板。在國內(nèi)外學術期刊發(fā)表論文10余篇，授權發(fā)明和實用新型專利30余項。做為控制總師參與完成了“9711”工程、國家863、02專項等各類項目10余項，主持完成總裝型譜、總裝預研等多個重點項目。研制開發(fā)的多臺設備或項目先后獲得中國電子科技集團公司科學技術一等獎、國防科學技術二等獎、信息產(chǎn)業(yè)重大技術發(fā)明獎、中國電子科技集團公司科技進步特等獎、北京市科學技術獎一等獎、中國電子學會電子信息科學技術獎一等獎、北京市通州區(qū)科技進步一等獎。