報(bào)告承辦單位:物理與電子科學(xué)學(xué)院

報(bào)告內(nèi)容:我國半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備-離子注入機(jī)的現(xiàn)狀

報(bào)告人姓名:王迪平

報(bào)告人所在單位:北京爍科中科信電子裝備有限公司（隸屬中國電科四十八所）

報(bào)告人職稱/職務(wù)及學(xué)術(shù)頭銜:研究員級高級工程師

報(bào)告時(shí)間:2022年10月21日（周五）15:00

報(bào)告地點(diǎn):云塘校區(qū)理科樓B413

報(bào)告人簡介:王迪平，中國電子科技集團(tuán)研究員級高級工程師，現(xiàn)任北京爍科中科信長沙分公司科研技術(shù)主管，控制總師。主要從事離子注入機(jī)的研制開發(fā)和量產(chǎn)研究，主導(dǎo)設(shè)計(jì)開發(fā)了離子注入機(jī)的關(guān)鍵部件：劑量控制器、劑量積分儀、全電掃描劑量控制器、大束流檢測板、PCI總線下的光纖通訊環(huán)路板。在國內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊發(fā)表論文10余篇，授權(quán)發(fā)明和實(shí)用新型專利30余項(xiàng)。做為控制總師參與完成了“9711”工程、國家863、02專項(xiàng)等各類項(xiàng)目10余項(xiàng)，主持完成總裝型譜、總裝預(yù)研等多個重點(diǎn)項(xiàng)目。研制開發(fā)的多臺設(shè)備或項(xiàng)目先后獲得中國電子科技集團(tuán)公司科學(xué)技術(shù)一等獎、國防科學(xué)技術(shù)二等獎、信息產(chǎn)業(yè)重大技術(shù)發(fā)明獎、中國電子科技集團(tuán)公司科技進(jìn)步特等獎、北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎、中國電子學(xué)會電子信息科學(xué)技術(shù)獎一等獎、北京市通州區(qū)科技進(jìn)步一等獎。