掃描電子顯微鏡

主要規(guī)格及技術(shù)參數(shù)

工作條件

1.1電源：能在220V±10％，50Hz，30A供電條件下連續(xù)工作。儀器設(shè)備的插頭應(yīng)符合中國國家標(biāo)準(zhǔn)，否則應(yīng)提供適合儀器插頭的插座；

1.2環(huán)境：能在15～25℃，相對(duì)濕度小于60％環(huán)境下運(yùn)行。

2.設(shè)備組成

2.1 掃描電鏡主機(jī)主要構(gòu)成:

2.1.1掃描電鏡基本單元

2.1.2二次電子探測(cè)器

2.1.3背散射電子探測(cè)器

2.1.4計(jì)算機(jī)控制單元

2.1.5 23寸LCD觸控顯示器

2.2自動(dòng)穩(wěn)壓電源:1套

2.3一體化電制冷能譜儀

2.4離子濺射儀

3指標(biāo)要求

3.1分辨率

3.1.1二次電子分辨率：3.0nm (30kV) ,8nm(3kV)，15nm (1kV)

3.1.2背散射電子分辨率：4.0nm(30KV)

3.1.3放大倍率5X - 300,000X（128 X96mm實(shí)放大倍率條件下）

3.2真空系統(tǒng)

3.2.1高真空模式：真空度10^-4Pa

3.2.2全自動(dòng)電磁閥門，無須空氣壓縮機(jī)

3.2.3采用二級(jí)真空系統(tǒng)：機(jī)械泵、分子泵，均必須原裝進(jìn)口

3.3電子光學(xué)系統(tǒng)

3.3.1電子槍 工廠預(yù)對(duì)中設(shè)計(jì)，采用無縫自給偏壓技術(shù)

3.3.2電子槍自動(dòng)功能：具有自動(dòng)加熱、自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)飽和度調(diào)整功能

3.3.2聚光鏡 采用自動(dòng)可變焦聚光鏡

3.3.3光闌 三級(jí)可調(diào)物鏡光闌

3.4圖像電位移±50μm

3.5樣品室和樣品臺(tái)

3.5.1最大樣品直徑：200mm，可完全觀察178mm

3.5.2樣品交換方式：大開門式，無需氮?dú)獗Ｗo(hù)

3.5.3樣品臺(tái)：優(yōu)中心全對(duì)中樣品臺(tái),具有五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)功能

3.5.4樣品臺(tái)移動(dòng)速度：不低于3mm/s

3.5.5最大樣品重量：2kg可傾斜90°

3.5.6樣品臺(tái)行程：行程X：125mm,Y：100mm,Z：80mm;傾斜-10°至+90°旋轉(zhuǎn)360°

3.5.7具有超規(guī)格樣品限位功能。

3.5.8具有自動(dòng)導(dǎo)航功能。

3.6探測(cè)器及成像系統(tǒng)

3.6.1二次電子探測(cè)器:可形成二次電子像

3.6.2環(huán)形及方形高靈敏度背散射電子探測(cè)器:可形成成分像、形貌像和陰影像

3.6.3成像模式：同時(shí)得到二次電子像、背散射電子像，兩種圖像任意比例混合像，三種圖像方便進(jìn)行對(duì)比。

3.6.4圖像測(cè)量軟件：包括垂直,水平,對(duì)角，任意2點(diǎn)間距離，直徑, 2個(gè)圓中心間距離，角度，圓和多角形

3.6.5具有Charge Free不導(dǎo)電樣品掃描模式，可將樣品受到電子束的損傷和電荷積累降到最低

3.6.6 23英寸觸控LCD控制，win7系統(tǒng) 最大像素不低于5120×3840

3.7 X射線能譜儀（制造廠家最好與電鏡廠家相同）：

3.7.1具有一體化能譜儀設(shè)計(jì)，一臺(tái)電腦即可完成圖像拍攝及元素分析功能

3.7.2能量分辨率：129eV

3.7.3元素分析范圍：B-U

3.7.4有效探測(cè)面積：不小于30mm²

3.7.5采用SDD電制冷技術(shù)，無需液氮

3.8進(jìn)口離子濺射儀

主要功能及特色

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。